![banner](/static/aldebaran/i/banner/month-zero-1920x60.png)
![banner](/static/aldebaran/i/banner/month-zero-970x90.png)
![banner](/static/aldebaran/i/banner/month-zero-450x100.png)
- Книги
- Аудиокниги
- Списки
- Жанры
- Cаморазвитие / личностный рост
- Зарубежная психология
- Попаданцы
- Боевая фантастика
- Современные детективы
- Любовное фэнтези
- Зарубежные детективы
- Современные любовные романы
- Боевое фэнтези
- Триллеры
- Современная русская литература
- Зарубежная деловая литература
- Космическая фантастика
- Современная зарубежная литература
- Все жанры
- Серии
Главная›Учебники и пособия для вузов›В. Ю. Васильев›Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Название книги:
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Автор:
В. Ю. ВасильевАннотация
- Обложки
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с помощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем.Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологии.
В нашей электронной библиотеке вы можете скачать книгу «Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем» автора В. Ю. Васильева в формате epub, fb2, rtf, mobi, pdf себе на телефон, андроид, айфон, айпад, а так же читать онлайн и без регистрации. Ниже вы можете оставить отзыв о прочитанной или интересующей вас книге.
![Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем](https://aldebaran.ru/pub/c/cover_415/69996043.jpg)
Издательство:
Новосибирский государственный технический университет